荷蓝，埃因霍温，阿斯唛（ASM）研发实验室。

　　空气中弥漫着一种近乎凝固的兴奋，混合着精密仪器的特殊冷却液气味和咖啡的浓郁香气。

　　巨大的洁净室内，一台庞大而复杂的机器，人类历史上第一台极紫外（EUV）光刻机原型机，正静静地矗立在中央，仿佛一头蛰伏的金属巨兽。

　　虽然它此刻的晶圆良品率低得可怜，仅有30%，光源输出功率也忽高忽低，稳定性堪忧，远未达到商用标准，但这并不妨碍围绕它的研发人员们脸上洋溢着巨大的成就感和狂喜。

　　突破了！

　　他们真的突破了物理的极限，为摩尔定律的延续凿开了一道新的曙光！

　　与已经十分成熟、但已逼近物理极限的深紫外（DUV）光刻机相比，这台EUV是通向7nm乃至更先进制程的全新道路。

　　实验室的门滑开，阿斯唛总裁皮特·温尼克面带笑容地走了进来，立刻被热烈的掌声和欢呼包围。

　　他热情地与每一位核心工程师握手，声音洪亮而充满感染力。

　　“女士们，先生们！

　　今天，你们创造了历史！

　　这台机器，不仅仅是一台光刻机，它是人类智慧对抗物理法则的又一次伟大胜利！

　　它证明了我们阿斯唛走在正确的道路上，证明了全球协作的力量！

　　EUV的时代，将由我们一同开启！”

　　狂欢的气氛被推向了高潮。

　　香槟酒塞“嘭”地打开，泡沫四溅。

　　在一片欢腾中，温尼克将EUV项目负责人，来自台机电的技术大拿闫涛南叫到了一旁相对安静的角落。

　　温尼克脸上的笑容稍稍收敛，他需要了解更现实的情况。

　　“闫，干得漂亮！

　　但现在，我需要知道最真实的数据。

　　如果我是说如果，我们的关键子系统被迫启用备用供应商，对良率的影响具体有多大？”

　　闫涛南推了推眼镜，技术人的严谨让他迅速进入状态，语气清晰而准确。

　　“温尼克先生，情况如下：

　　光源系统：

　　目前我们使用北美Cymer的LPP（激光等离子体）光源，能量转换效率达到5.5%。

　　如果换用备用供应商得国TRUMPF的30kW二氧化碳激光器，其转换效率为3.42%，且稳定性稍逊。

　　模拟结果显示，这会导致整体良品率下降约5%。

　　光学系统：

　　核心是得国蔡斯（ZEISS）的EUV反射镜，其表面粗糙度控制在惊人的0.1nm以内。

　　如果启用备用方案，即霓虹尼糠（Nikan）和佳（Conon）的组合，他们的镀膜工艺目前难以达到同等水平，可能会引入更高的缺陷密度。

　　估算下来，反射镜缺陷率若从蔡斯的0.001个/平方厘米上升到0.03个/平方厘米，良品率将下降10%。

　　对准系统：目前我们采用的是来自种花的橙科（CK）的对准子系统。

　　它的静态精度达到了0.000018°/h，动态群体校正算法能有效补偿振动，定位误差控制在亚纳米级。

　　如果换回我们之前使用的得国蔡斯方案，其动态误差控制略逊，可能导致套刻误差增加，良品率预计下降5%。”

　　提到“种花的CK”时，闫涛南的语气微微一顿，一丝极其复杂的情绪在他眼中一闪而过。

　　那是一种夹杂着对同胞技术崛起的微妙自豪感，与对两岸未知竞争格局潜藏的不安。

　　温尼克认真地听着，手指无意识地轻敲着桌面。

　　“我明白了！我们阿斯唛能成为全球光刻机的领导者，正是因为我们汇聚并整合了全球最顶尖的技术。

　　自己搞全产业链的霓虹和北美对手，反而被我们甩在了身后。”

　　温尼克脸上重新露出笑容，用力拍了拍闫涛南的肩膀。

　　“闫，你的工作无比出色，董事会已经批准，正式任命你为阿斯唛全球副总裁，全面负责EUV后续的迭代和商业化量产！这是你应得的！”

　　“非常感谢您的信任，温尼克先生！”闫涛南激动地与总裁握手。

　　离开EUV实验室的喧嚣，温尼克又来到了隔壁的DUV光刻机研发中心。

　　这里的气氛相对沉稳，技术更加成熟。

　　他找到了负责DUV的副总裁兼首席技术官马丁。

　　“马丁，我们新一代的NXE:3300BDUV光刻机（用于7nm及以上制程），换装了新的子系统后，效果如何？”

　　马丁脸上洋溢着自信的笑容。

　　“非常好，温尼克！

　　原-->>

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